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首页 >>> 产品目录 >>> 德国FRT公司三维轮廓纳米测量仪 粗糙度 平面度 翘曲度 >>> 白光干涉仪   更详细的产品分类 产品图片 产品名称/型号 产品简单介绍 白光干涉仪 FRT WLI 白光干涉仪采用白光干涉测量传感器，其垂直分辨率可达0.1nm详细技术参数：测量原理:白光干涉测量；测量物镜10X 20X 50X垂直测量范围：100um(400um可选)垂直分辨率 0.1nm；X,Y测量范围:1.6X1.2mm 0.8X0.6mm 0.32X0.24mm；工作距离：3.6mm 3.6mm 1.7mm侧向分辨率2.5um 1.25um 0.5um 白光干涉仪

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