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产品名称:
白光干涉仪
产品型号:
FRT WLI
产品展商:
德国FRT公司
简单介绍
白光干涉仪采用白光干涉测量传感器,其垂直分辨率可达0.1nm详细技术参数:测量原理:白光干涉测量;测量物镜10X 20X 50X垂直测量范围:100um(400um可选)垂直分辨率 0.1nm;X,Y测量范围:1.6X1.2mm 0.8X0.6mm 0.32X0.24mm;工作距离:3.6mm 3.6mm 1.7mm侧向分辨率2.5um 1.25um 0.5um 白光干涉仪
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白光干涉仪
的详细介绍 |
白光干涉仪 
详细技术参数:
测量原理 白光干涉测量 测量物镜 10X 20X 50X 垂直测量范围: 100um(400um可选) 垂直分辨率 0.1nm X,Y测量范围: 1.6X1.2mm 0.8X0.6mm 0.32X0.24mm 工作距离: 3.6mm 3.6mm 1.7mm 侧向分辨率 2.5um 1.25um 0.5um 白光干涉仪
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