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   产品名称: 
				白光干涉仪
 产品型号:
			FRT WLI
 产品展商:
			德国FRT公司
 简单介绍
 白光干涉仪采用白光干涉测量传感器,其垂直分辨率可达0.1nm详细技术参数:测量原理:白光干涉测量;测量物镜10X 20X 50X垂直测量范围:100um(400um可选)垂直分辨率  0.1nm;X,Y测量范围:1.6X1.2mm 0.8X0.6mm 0.32X0.24mm;工作距离:3.6mm 3.6mm 1.7mm侧向分辨率2.5um 1.25um 0.5um 白光干涉仪
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		| 白光干涉仪的详细介绍 |  
		|  白光干涉仪  
 详细技术参数:
 测量原理                                                   白光干涉测量 测量物镜                       10X                        20X                        50X 垂直测量范围:                                 100um(400um可选) 垂直分辨率                                                 0.1nm X,Y测量范围:         1.6X1.2mm          0.8X0.6mm           0.32X0.24mm 工作距离:                  3.6mm                   3.6mm                   1.7mm 侧向分辨率                    2.5um                 1.25um                     0.5um白光干涉仪
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