XONOX VT系列立式球面激光干涉仪特点：

---高精密气浮隔震系统，适合于光学加工车间现场检测
---采用气浮垂直移动导轨，移动快速准确，*大移动范围1200mm，直线度可达3um
---可选装经济型的4寸干涉仪主机，配置静态光圈测量分析软件，代替传统的样本检测，方便快捷，DIN或ISO测量结果显示。
---配置ZYGO Verifire XPZ 4寸或6寸干涉仪主机，ZYGO专业测量分析软件，适合更**用户使用。
---配置线性光栅尺，曲率半径测量精度+/-3um；小曲率半径测量装置可选，测量精度+/-1um（+/-60mm测量范围）
---配置XONOX 4+测量物镜，*大测量口径为130mm，曲率半径测量范围可达1150mm
---连接上电源与压缩空气就可以使用，无需额外配置

详细技术参数：
 

工作范围	750mm / 1000mm / 1200mm垂直移动范围，测量口径130mm或150mm
激光测量单元	XONOX Z100 4”菲索干涉仪或ZYGO VeriFire XPZ干涉仪主机，6倍光学变焦
测量系统	**测量，数字显示；小半径特殊测量装置（选项）
曲率半径测量精度	+/-1um（根据所使用的测量系统）
外形尺寸	800X900X1900mm
重量	450Kg
电压	110V-220V, 50-60Hz；16A
气压	6 bar

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