焦距（EFL）测量
EFL+/-
OptiSpheic
OptiSpheric L
OptiSpheric Autofocus
OptiSpheric L Autofocus
OptiSpheric 1000 Autofocus
标准测量范围
+5 … +250mm
-5 … -250mm
+5 … +500mm
-5 … -450mm
-5 … -250m
+5 … +1000mm
-5 … -1000mm
扩展测量范围
1 … 5mm
可达1000mm
可达2000mm
样品直径
1 … 35(75)mm
1 … 35(75/150)mm
1 … 75(150)mm
重复性
0.03 … 0.2%
测量精度
5 …25mm: 0.1 … 0.3%
25 … 500mm: 0.03% … 0.1%
500 … 1000mm: 0.05% … 0.3%
测量时间
手动聚焦：3 … 20秒
测量时间：鼠标点击
**测量：5 … 8秒
后续测量： 3 … 5秒
轴上传递函数（MTF）测量
在轴MTF测量
测量范围
**MTF测量： 5 … 75mm EFL
**MTF测量： 5 … 100mm EFL
测量模式
手动聚焦，自动测量
自动聚焦，自动测量
波长范围
400 … 750(1000)nm
空间频率
0 … 300(500)lp/mm
刀口分析
● 重复性
● 精 度
2%
3%
狭缝评价
1%
后截距（BFL）和曲率半径测量
BFL/FFL
曲率半径
+/-3…+/-250mm
+/-3…+/-400mm
+/-3…+/-200mm
+/-5…+/-500mm
0.05% … 0.3%
扩展型的技术参数：中心偏差测量
透射和反射法测量中心偏差
可扩展到+/-2000mm
+/- 0.1微米或者+/-1秒
+/- 0.2微米或者+/-2秒
3 … 15秒
角度测量
分辨率
0.01秒
0.2秒
1秒