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产品名称:
FRT薄膜厚度测量仪
产品型号:
MicroProf FTR
产品展商:
德国FRT公司
简单介绍
FRT薄膜厚度测量仪采用膜层厚度测量传感器，非接触测量表面膜层，测量范围从10nm--250um，广泛应用于半导体晶片、光学镀膜加工、漆膜、氧化表面层测量。
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FRT薄膜厚度测量仪
的详细介绍 |
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FRT薄膜厚度测量仪
薄膜层厚测量传感器 FTR 薄膜层厚测量传感器FTR为专用的膜层测量仪器，通过于MicroProf型MicroGlider 型结合使用，可应用于各种高精度的测量场合，其层厚分辨率可达1nm；非接触无损测量更拓宽了其应用场合；如光学镀膜加工（膜层厚度、消光系数等参数）；半导体硅片表面膜层分析；氧化表面微细分析、漆膜等等
薄膜层厚测量传感器FTR技术参数：
测量原理 | 反射测量（非接触） | 光源 | 卤素灯 | 氚-卤素灯 | 波长范围 | 400—850nm | 650—1100nm | 400—1100nm | 250nm—850nm | 250—1100nm | 层厚测量范围 | 50nm-20um | 70nm-70um | 50nm-100um* | 10nm-20um | 10nm-70um | 层厚分辨率 | 1 nm | X,Y轴分辨率 | 0.1um |
注：*----可选1um—250um
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